中國(guó)電科48所抓住國(guó)家IC產(chǎn)業(yè)發(fā)展機(jī)遇，充分利用“十五”期間積淀的技術(shù)基礎(chǔ)、搭建的研發(fā)平臺(tái)，于2008年、2011年先后承擔(dān)了02專(zhuān)項(xiàng)90-65nm大角度中束流離子注入機(jī)和45-22nm低能大束流離子注入機(jī)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。

      90-65nm大角度中束流離子注入機(jī)項(xiàng)目進(jìn)展平穩(wěn)順利

      β機(jī)于2010年11月進(jìn)入中芯國(guó)際北京生產(chǎn)線(xiàn)，2011年完成成套工藝小批量產(chǎn)品流片與馬拉松測(cè)試。2012年，通過(guò)功能改進(jìn)及售后服務(wù)質(zhì)量提升，先后進(jìn)行的性能測(cè)試表明：0.16um的顆粒在20個(gè)/片以下，達(dá)到用戶(hù)的要求；生產(chǎn)效率接近主流設(shè)備水平；氣態(tài)離子源使用達(dá)到600小時(shí)。基于工藝測(cè)試的良好表現(xiàn)，中芯國(guó)際進(jìn)行了小批量商用產(chǎn)品試生產(chǎn)，結(jié)果顯示：該設(shè)備滿(mǎn)足大生產(chǎn)線(xiàn)90-65nm工藝要求，能較好地完成產(chǎn)品的生產(chǎn)。

      研發(fā)過(guò)程中，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利103項(xiàng)，授權(quán)4項(xiàng)。目前，48所已與中芯國(guó)際工廠(chǎng)初步達(dá)成多機(jī)臺(tái)銷(xiāo)售意向，并正與國(guó)內(nèi)幾家知名半導(dǎo)體廠(chǎng)家進(jìn)行銷(xiāo)售洽談。

      48所將繼續(xù)優(yōu)化軟件系統(tǒng)，提高軟件可靠性；完成項(xiàng)目驗(yàn)收資料整理與齊套；致力于市場(chǎng)拓展，確保項(xiàng)目產(chǎn)業(yè)化目標(biāo)的圓滿(mǎn)完成；加強(qiáng)加大研發(fā)人員的建設(shè)與鍛煉，建設(shè)一支新型的團(tuán)隊(duì)。

      45-22nm低能大束流離子注入機(jī)項(xiàng)目進(jìn)展有序有為

      2011年，48所制定了低能大束流離子注入機(jī)整機(jī)研發(fā)方案，細(xì)化各節(jié)點(diǎn)目標(biāo)及計(jì)劃，完成關(guān)鍵技術(shù)寬帶束離子源系統(tǒng)搭建，進(jìn)行寬帶束離子源參數(shù)測(cè)試。2012年3月完成光路設(shè)計(jì)及驗(yàn)證，并通過(guò)專(zhuān)家評(píng)審。目前，項(xiàng)目已完成α機(jī)整機(jī)分系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)，正處于整機(jī)零部件設(shè)計(jì)、采購(gòu)與加工階段。

      項(xiàng)目研發(fā)過(guò)程中，研發(fā)團(tuán)隊(duì)結(jié)合創(chuàng)新情況，已申請(qǐng)專(zhuān)利3項(xiàng)。2012年底，48所將在完成 α機(jī)整機(jī)安裝集成的同時(shí)，進(jìn)一步完善項(xiàng)目管理和質(zhì)量控制體系，充分利用多年積累的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，為項(xiàng)目的成功研制奠定基礎(chǔ)。近日，48所離子注入機(jī)團(tuán)隊(duì)在中國(guó)電科第二屆科技與創(chuàng)新大會(huì)榮獲“科技與創(chuàng)新大會(huì)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)”表彰。

      中國(guó)電科48所將繼續(xù)弘揚(yáng)“敢于挑戰(zhàn)、勇于創(chuàng)新、甘于奉獻(xiàn)”的精神風(fēng)貌，持續(xù)加強(qiáng)攻關(guān)力度，不斷提高創(chuàng)新能力，嚴(yán)格按照項(xiàng)目節(jié)點(diǎn)要求，高效推動(dòng)項(xiàng)目進(jìn)展，力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)離子注入裝備系列高端產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化與產(chǎn)業(yè)化。